2015年2月，美国商务部悄悄更新了一则声明，五千多个单词重点讲了一件事：取消向中国出口等离子刻蚀机的限制。
国人对半导体设备禁令的印象，大多始于2019年声势浩大的科技战，但早在互联网还没有记忆的1996年，美国就集结了“巴统” 17国在内的33个国家，以《瓦森纳协定》的形式确定了密不透风的技术出口管控。
协定的3.B条款严格限制了芯片制造前、中、后道几乎所有核心设备，其中就包括刻蚀机。
2015年的声明是美国迄今唯一一次“让步”，原因也很朴实：“有一家非美国公司已经有能力供应足够数量和同等质量的刻蚀机。”
美国商务部的解除限制证明
这家“非美国公司”名叫中微公司，创始人尹志尧是应用材料（AMAT）的刻蚀机事业部的一把手，后者是美国乃至全球最大的半导体设备公司。
2003年，尹志尧代表应用材料来中国参展，遇到高中校友江上舟。江上舟可谓上海半导体产业的“总设计师”，主导了大批在美国工作的华人工程师回国创业，上一个被江上舟请到上海的就是张汝京创办的中芯国际。
应用材料在展会上公开了其刻蚀机的内部构造，江上舟忍不住对尹志尧感叹道：“看来造刻蚀机比造原子弹还复杂。”
一年后，中微公司落户上海金桥，成立第三年量产首款刻蚀机，第七年实现45nm介质刻蚀机的国产突破，成为台积电5nm产线上唯一一家中国大陆刻蚀机供应商。
同一时期，国内规模最大的半导体设备公司北方华创在北京成立，由七星电子与北方微电子重组合并而来。其中七星电子的历史可以追溯到苏联援建时期，开发过中国第一台扩散炉和等离子刻蚀机，继承了上个世纪中国半导体设备开发的几乎全部遗产。
在“卡脖子”这个词还没普及的年代，国产半导体设备已经开始在逆风中疾行了。
