当我们今天为芯片自主研发奋力攻坚时,很少有人知道,半个多世纪前的中国山沟里,早已响起过光刻技术的东方惊雷。那是一段被主流叙事轻描淡写的岁月,却是中国科技史上足以昂首的辉煌序章。
惊世初啼:与世界同步的东方微光
上世纪六十年代中期,全球光刻技术还处在萌芽阶段,中国科学院的科研人员正在简陋的实验室里创造奇迹——65型接触式光刻机成功问世。没有精密的进口设备,没有先进的无尘车间,科研人员靠着土法革新和反复试错,让中国在这一尖端领域,与世界强国站在了同一条起跑线上。
十年后的七十年代,技术火种已成燎原之势。武汉无线电元件三厂编写的《光刻掩模版的制造》正式出版,这部专著系统梳理了当时的工艺方法,标志着中国光刻技术不仅有了扎实的实践积累,更完成了理论体系的搭建与传承。
更值得铭记的是当时的时代坐标:日本半导体产业刚刚起步,如今的巨头韩国和中国台湾地区尚未涉足该领域,而被奉为行业标杆的荷兰ASML,还要等到1984年才出生。彼时的中国光刻技术,正处在全球第一梯队的赛道上。
三线脊梁:山沟里的”争气机”制造者
这些成就的背后,隐藏着一群隐姓埋名的奉献者,和他们扎根深山的三线企业。在”备战、备荒、为人民”的战略指引下,四机部4503厂(宝鸡)、877厂(陕南商县)等企业应运而生,成为国防科技的坚固堡垒。

国营建光机器厂:市区里的军工传奇
1969年,宝鸡无线电技工学校与筹建中的4503厂合并,组建为国营建光机器厂,作为国家17个重点军工项目之一,整合了上海、南京的优质技术资源,专攻半导体设备研发。在三线企业多布局于偏远山区的背景下,它是少数扎根市区的军工企业。
七十年代中期,建光机器厂迎来技术爆发:中国第一代接触式光刻机成功研制,随后迭代至第三代,与国际同期水平仅相差约10年。这些”争气机”立下了汗马功劳——用于1975年卫星控制系统芯片、核物理研究院离子注入机,研发的陶瓷封装逻辑电路更是达到当时国际先进水平。
要知道,这一切都是在装备落后的条件下实现的。科研人员靠着”自力更生””艰苦奋斗”的精神,比ASML早十余年涉足光刻机领域,用青春和智慧为国家筑牢了科技防线。


