从“给图纸也造不出”到原型机完成组装到内测，“另辟蹊径”才是成功之道
【新闻报道】
近日，据媒体报道，一台中国国产EUV光刻原型机已在深圳某高度保密的实验室完成组装，并进入了内部测试阶段。
【讨论纪要】
●中国生产出国产EUV光刻原型机的可能性是完全存在
对于上述英国媒体的相关报道，东方时事解读认为应该分为两部分来观察。
首先，东方时事解读认为，中国生产出国产EUV光刻原型机的可能性完全存在。此前东方时事解读曾反复强调，即：到了2026年6月，中国国产EUV光刻机就差不多了。现在距离上述评估时间点还有半年左右的时间，出现国产EUV光刻机原型机完成并开始内测的消息我们并不感到奇怪。因为中国是激光技术强国，也是光学技术强国（注，比如，“吉林1号”），更是电子技术、人才技术强国，尤其是制造业强国，只要有资源，有资金，有时间，制造出国产EUV光刻机完全不是问题。
●光刻机在新中国的发展史上留下过的一道深深伤口
值得一提的是，光刻机在新中国的发展史上留下过一道深深的伤口。
20世纪中叶，中国光刻机技术曾迈入蓬勃发展的自主创新阶段。1965年，中国科学院成功研制65型接触式光刻机，其时距离美国首台同类机型问世仅四年。70年代初，中科院率先展开计算机辅助光刻掩模工艺研究；1977年，我国推出GK-3型半自动光刻机；至1980年，清华大学已在第四代分步式投影光刻机技术上取得突破，实现3微米光刻精度，接近同期国际主流水平。
1982年，中科院109所研制的光刻机进一步缩短了与国际先进水平的差距。1985年，我国新型分步式光刻机试验机通过验收，其性能经鉴定已接近美国GCA公司4800DSW型光刻机，标志着中国光刻机技术发展抵达高峰。然而这一巅峰竟成为转折点。
随着改革开放深入推进，中外技术交流日益密切，“造不如买、买不如租”的思潮逐渐占据主导，加之当时国际环境相对宽松，包括光刻机在内的多项高技术设备得以引进，导致国内自主研发路径放缓。
在全球化分工与市场换技术的策略影响下，光刻机等关键领域的自主技术攻关进程受阻，国产化道路遭遇停滞，致使我国与国际领先水平差距逐渐扩大，集成电路产业也错失了同步发展的重要窗口。这一历程成为值得深思的技术发展案例，揭示了保持战略定力、平衡自主创新与对外合作在高端技术领域的长期重要性。
●正所谓，巧妇难为无米之炊
其次，我们再来说说，如果中国的国产光刻机原型研制成功并进行内测，其到底是否与ASML资深工程师领衔的国际团队提供所谓“技术支持”有无关联？
按照这家英国媒体的报道，给人的一感觉是，好像他们对我国制造国产光刻机的进程非常了解。但在我们看来，恐怕未必。仅从其“ASML资深工程师领衔的国际团队提供所谓‘技术支持’至关重要”这一点就能看出。这种说法在东方时事解读看来，可以说，是“相当假”。
这个原因就隐藏在阿斯麦总裁说过的一句话中——“就算把图纸给你们，也造不出EUV光刻机！”曾几何时，阿斯麦CEO就是这样傲慢。
众所皆知，阿斯麦是全球最牛的光刻机厂商，独占全球90%以上的光刻机市场。尤其是高端的EUV光刻机，阿斯麦更是一家独大。资料显示，阿斯麦高端光刻机重量达到180吨，精密零部件超过10万多个。单次发货需要动用40个货柜、20辆卡车以及3架波音飞机才能运完。其中90%的零部件来自超过40多个国家的5000多家供应商。比如，德国蔡司的镜头，日本的高耐热性、抗腐蚀性和机械稳定性的特殊复合材料，瑞典的精密机床和美国的控制软件、光源等。而阿斯麦主要的工作就是将它们继承组装到一起。
讨论到这里，问题来了。大家知道，美西方早就对我们封锁出口阿斯麦高端光刻机。2020年，荷兰当局就正式禁止阿斯麦向中国出口极紫外（EUV）光刻机。到了2024年1月1日，在拜登政府推动下，荷兰进一步限制阿斯麦向中国客户提供先进的深紫外（DUV）光刻机，并停止对华出口部分高端设备、尤其是零部件（注，关键元器件连二手货都被严格禁止）。这些措施源于美国主导的对华科技出口管制，旨在限制中国获取先进芯片制造技术，且这一政策在特朗普总统第二任期后得到“完美继承”。
既然如此，试问，在这一背景下，就算存在所谓ASML资深工程师领衔的国际团队，他们用什么来制造中国国产EUV光刻机？或者说，对于所谓ASML资深工程师领衔的国际团队是否存在的问题暂且不去讨论，就算是此时此刻中国拿到了荷兰阿斯麦最高端EUV光刻机的详细图纸，又用什么来制造中国国产EUV光刻机？不难看出，在“就算把图纸给你们，也造不出EUV光刻机！”这句话背后，本质上并不是技术问题，而是供应链问题。这些构成阿斯麦高端光刻机的主要零部件、原材料、控制软件等均在西方的严密控制之下。也就是说，在美国政府的“长臂管辖”政策下，中国绝无造出EUV光刻机的可能。
●如果说中国制造出了国产EUV光刻机，途径一定是另辟蹊径
所以，答案就呼之欲出了。如果说中国制造出了国产的EUV光刻机，途径一定和阿斯麦有所不同，一定是另辟蹊径。比如，我们可以采取固态激光源；再比如，我们可以建造光刻厂、光刻流水线等。
值得一提的是，阿斯麦CEO后来也坦诚，说给中国光刻机图纸都造不出来光刻机到“我们太自以为是了”，且其更被中国的发展所震撼！他认为，中国有14亿人，而且聪明人很多。他们能想到我们未想到的解决方案，出口管制只会迫使他们提升创新能力。
