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队长:为什么荷兰ASML敢拒绝美国禁令,对华出口DUV光刻机?|2022-11-03

拒绝美国禁令,荷兰ASML公开宣称:“要对华出口DUV光刻机。”荷兰ASML这是怎么了?怎么突然就硬气了?


看到这条消息,大家先别高潮。众所周知,荷兰ASML是全球最牛逼的光刻机制造商。在美国对中国实施半导体产业封锁的过程中,荷兰ASML也成为了美国的帮凶。2019年,中芯国际向ASML订购的一台EUV光刻机至今都没有收到货。


要说ASML敢公然违背美国对华的芯片封锁令,他真的没有这个胆。ASML虽然是一家荷兰光刻机制造商,但是它最尖端的EUV光刻机的核心光源技术来自于美国Cymer公司,中文名为西盟半导体设备有限公司。


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对于光刻机而言,最核心的技术就是光源。没有光源,半导体光刻技术就是无源之水,无本之木。美国Cymer公司是全球唯一一家极紫外光源供应商。只要Cymer公司切断极紫外光源供应,ASML的EDU光刻机就造不出来了。


中国高端芯片被ASML卡着光刻机的脖子,ASML光刻机则被美国卡着极紫外光源技术的脖子。美国用一套长臂管辖的连招,隔山打牛,也就卡住了中国的脖子。




到今天,中国很多网友还分不清EUV光刻机和DUV光刻机的区别。二者最大的不同在于,EUV光刻机采用的是极紫外光源,可以用来量产14纳米以下的高端芯片。DUV光刻机采用的是深紫外光源,它的极限是量产28纳米中低端芯片。


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荷兰ASML公司拒绝美国禁令,计划对中国出口的是DUV光刻机,并非是最尖端的EUV光刻机。那么,为什么ASML公司要向中国出口DUV光刻机呢?这主要有三大原因:


其一是,ASML公司想赚中国的钱。当前,全球芯片市场出现了两极分化的局面。一边是14纳米以下的高端芯片供不应求,另一边是28纳米以上的中低端芯片严重过剩。





据韩国媒体统计,在全球芯片厂商100强中,大陆厂商就占据了42家。但是,大陆芯片厂主要都是生产28纳米以上的中低端芯片,14纳米以下的高端芯片几乎被台积电和三星所垄断。中国厂商在28纳米以上的中低端芯片领域爆产能,直接把中低端芯片产能给干爆了,产能飙升,价格暴跌,产量大,利润低,是典型的大而不强。一家台积电的利润就超过大陆所有芯片厂的利润总和。


在中低端芯片产能过剩后,ASML的DUV光刻机也不好卖了。全球28纳米以上芯片最大制造产业集群就在中国,也只有中国还存在增加订购DUV光刻机的市场空间。ASML公司摆明了是联合美国,一手大棒,一手胡萝卜,恐吓中国芯片厂,制造一种“美国不许卖,我荷兰ASML偏要卖”的假象,以便于加速DUV光刻机清库存。





但更先进的EUV光刻机,中国厂商想买,连门都没有。


其二是,上海微电子已经成功研发出第一台国产28纳米DUV光刻机,首台交付时间就在明年。这是西方对中国技术封锁的老套路了。当中国没有时,西方企业要么天价销售,赚取巨额利润;要么技术封锁,禁止出售。可一旦中国研发出来了,他们马上降价,低价倾销,提前占领市场,挤压中国国产企业的生存空间。





光刻机也是如此。上海微电子才刚研发出28纳米DUV光刻机,荷兰ASML就宣布,不顾美国反对,坚决要对中国大规模出口DUV光刻机。可是,中国真正需要的EUV光刻机,那是只字不提。


这不是ASML良心发现,而是杀人诛心。别看ASML口口声声对中国开放市场,实则是低价倾销,给中国国产光刻机捅刀子。


其三是,DUV光刻机对美国技术依赖较低。DUV光刻机使用的是深紫外光源,而全球能够提供深紫外光源技术的供应商有三家,分别是美国Cymer、日本Gigaphoton和中国的科益虹源。


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也就是说,DUV光刻机可以完全摆脱美国技术,ASML想卖,美国也阻止不了。


然而,大家也看见了,DUV光刻机的核心深紫外光源技术,中国自己也能国产。当前,唯一的缺陷上海微电子的是DUV光刻机产能不足,尚且不能规模化供应。


荷兰ASML在这时候对中国示好,实则是口腹蜜剑,笑里藏刀。


很多人对中国光刻机的技术突破没有信心,动不动就说要梧桐宝岛,夺回台积电。可是,台积电的EVU核心光源机技术也来自于美国。只要美国切断极紫外光源供应,台积电也就成了一座空壳。





技术问题,终究是要用技术来解决。核心技术上,我们没有捷径可走。从2019年算起,美国封锁中国光刻机也才3年,上海微电子不就研发出28纳米DUV光刻机了吗?


我们要对中国人的聪明才智充满信心。从深紫外光源走向极紫外光源,从DUV走向EUV没有大家想象的那么难。


按照量产一代,研发一代,设计一代的三代发展模型,我们可以相信,在DUV光刻机研发成功后,下一代EUV光刻机也进入研发进程了。我们只是缺一些时间。





当前,全球芯片产业正走向摩尔定律的尽头,2纳米几乎就是极限了。也就是说,如果没有重大的理论突破,芯片制程的提升几乎没有空间了。领先的台积电、三星只能原地踏步地等着我们追上去。


技术上卡脖子的问题,我们终究要用技术突破去解决。不要想着走捷径,没有捷径可走。
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