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卢克文知识星球:光刻机巨头阿斯麦,被中国反向卡脖子?|2026-10-20

文/卢克文工作室 风雨如歌

路透社最近爆料称,欧盟提出和中国做一笔对等交易:中方解除对辛德豪瑟公司的出口管制,欧盟同步解除对一家中国企业的限制。

欧盟之所以专门点名这家叫辛德豪瑟的公司,是因为辛德豪瑟在欧洲光刻机供应链中的作用相当关键。

辛德豪瑟位于德国,员工总数只有50人,其中核心员工12个。别看公司规模非常小,但它是阿斯麦供应链的重要成员之一。

对,就是那个造光刻机的阿斯麦。没有辛德豪瑟,阿斯麦的光刻机供货都可能受到影响。

辛德豪瑟的产品主要有两个,一个是溅射靶材,另一个是六硼化镧陶瓷阴极,其中溅射靶材是看家本领,是蔡司的供应商,而蔡司是阿斯麦光刻机的供应商。

光刻机最难的环节是镜组,镜组负责引导极紫外光,让极紫外光一路“拐弯”拐到晶圆上,这种超短波长的光,透镜根本兜不住,只能靠镜子上镀的一层又一层纳米级薄膜。

这层膜,是用溅射工艺一层层“打”上去的,溅射靶材就是被打的原料。如果缺少辛德豪瑟的靶材,蔡司的镜组就无法供应,阿斯麦光刻机也跟着受连带影响。

再说第二个产品,六硼化镧陶瓷阴极。你可以理解成蔡司镀膜机器里的“电子点火器”。EUV光刻机的反光镜需要镀纳米薄膜,需要用到专门的镀膜机,镀膜机得打出稳定的电子束,用电子束激发等离子体,才能把靶材的原子一点点打到镜片表面。

这个阴极,就是专门负责释放电子的重要零件。没有它,镀膜设备就出不来合格的电子束。就算手里还有溅射靶材,镜子上那层关键薄膜也镀不上去。

靶材是被轰击的原料,阴极是发起轰击的电子发射件,两个配件要搭配使用,蔡司的镀膜产线才能正常运转。

做阴极的原料镧,是轻稀土的一种,但镧并不单独使用,而是与硼形成六硼化镧晶体。

这种硼化物整体熔点超过2000℃,容易释放电子,电子不需要费很大力气,就能从材料表面跑出来,是热发射阴极的优质材料。

无论溅射靶材还是六硼化镧陶瓷阴极,都需要用到稀土,中国在稀土领域很强势,从开采、冶炼到提纯,全球大半个稀土产业链集中在中国。

辛德豪瑟这种几十人的小厂,既没议价能力,也没有绕道的本事。

今年7月23日,欧盟在推出新一轮对俄制裁方案时,把14家中国企业纳入限制清单。中方立刻对等反制,将14家欧洲实体列入两用物项出口管制名单,限制向它们出口稀土这类两用物项,辛德豪瑟就在名单内。

彭博社报道,拿不到稀土的辛德豪瑟,业务已经陷入困境

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